レーザー測定センサを使って正しい向き/アライメントを検出する事例

最終更新日 2025-03-12

ご紹介する内容

デュアルモード：距離と明暗度による
距離とコントラストを同時に判定

この事例をオススメする工程

半導体製造後工程
基板導通チェック工程
部品製造工程

背景

半導体の製造では、機能と性能についてICチップを1つずつ検査をしています。
ICチップはトレイまたはテストソケットにセットされ、検査ステーションに搬送されます。
検査セルで正しい測定を行うには、チップの電極面が上を向いていること、浮きがなくトレイにセットされていることを確認する必要があります。
電極面でない場合もしくは、セット不良の場合は、検査プロセスはNGになります。

課題

ICチップは、トレイに逆さまにセットされている場合があります。
また、セットミスによりわずかにICチップが傾いていることがあます。
このような場合にコンタクトを接触させると、測定不能でNGになります。
検査ステーションのスペースは限られており、大型のビジョンシステムやセンサを導入することは、スペースの確保はもとより、クリーン度を維持するため、最小限にしなければなりません。

主な特徴

LMの分解能は、黒いターゲットでも、高さ0.004 mmの分解能で、浮きを状態を捉えることが可能です。
距離と明暗度を測定するLMのデュアルティーチモードによって、ICチップの裏表のコントラストの差を区別することができます。

主な利点

デュアルティーチモードのコントラストの判定によって、チップの裏表を判断します。
ICチップをトレイにセットする場合のセットミス判定は、LMの高精度測定により判定します。

LMシリーズセンサ

主な仕様

供給電圧（Vcc）	DC10V～30V
アナログ分解能	0.004mm
直線性	50～120mm：±0.06mm 120～150mm：±0.07mm
応答速度	ベースにより最速0.5ミリ秒測定と平均設定
保護等級	IP67（ハウジング: 316シリーズステンレス、PMMAアクリル）
動作温度	-10℃～+55℃
精度（温度）	±0.008mm/℃
認証

デュアルモード：距離と明暗度 - あらゆる変化を検知

デュアル（光強度 + 距離）モード

デュアル TEACH モード (デュアル：強度 + 距離ウィンドウ) は、距離ベースの検出と光強度しきい値を組み合わせることで、LMが解決できるアプリケーションを広げることができます。

デュアル TEACH モードでは、ユーザーが固定の参照面をティーチします。
基準ターゲットをティーチした後、表示される値は 100P、つまり 100% 一致に調整されます。
センサは強度と距離の読み取り値をティーチした基準面と比較します。

物体がセンサの視野に入ると、参照面との一貫性の度合いが低下し、センサ出力が変化します。

通常のセンサは、センサの範囲外の表面、非常に暗い表面、または空きスペースなど、上記のような状況では、長距離検出を必要とするアプリケーションが可能になる可能性がありますが、一般的には拡散モード検出の課題にさらされます。
LMセンサは、検出物と理想的でない参照表面との違いを判定できます。

取付金具（オプション品）

当社まで、お問い合わせお願いいたします。

動画紹介高精度レーザー測定センサ LMシリーズ - バナーエンジニアリング

部品表

品名	型番	備考
高精度レーザー測定センサ	LM150KIQP
標準シールドケーブル	MQDEC2-506	1.8m 5P M12 ストレート
標準シールドケーブル	MQDEC2-515	4.5m 5P M12 ストレート
取付金具	SMBLML1	お問い合わせお願いいたします。
取付金具	SMBLML2	お問い合わせお願いいたします。